표면공학 PVD에 대해서

표면공학 PVD에 대해서

표면공학 [PVD]에 대해서.ppt

목차 1. 서론 2. PVD법 2.1 PVD 란? 2.1 PVD 원리 2.3 PVD 개요 2.4 PVD 영상 2.5 PVD 장 단점 3. PVD 종류 3.1 PVD 종류 3.2 증발 (아크증발법) 3.3 이온도금 (이온주입법) 3.4 스퍼터링 3.4.1 강화된 스퍼터링 4. PVD 장비 5. 진공의 필요성 6. 박막 성장 기구 7. PVD 코팅층의 미세구조 8. PVD 적용 예 9. 제조공정 10. 최근 연구 동향 본문 2. PVD 법 1. PVD PVD = Physical Vapor Deposition (물리증착법) 2. PVD 의 원리 키워드 표면공학, 공학, 표면