레포트,족보등업 반도체물성실험 Alpha step

레포트,족보등업 반도체물성실험 Alpha step

[레포트,족보등업] 반도체물성실험 Alpha step.hwp

본문 Sample : Si 1. What is the main principle of the Alpha - step ? - Waffer 표면 위의 단 차가 있는 박막의 두께(수 Å 이상) 및 Step profile을 측정하기 위하여 개발한 장비로, 탐침(stylus)이 Waffer 표면을 긁고(scan) 지나감으로써 표면 단자의 변화를 발생하는 압력을 감지하여 그 단차의 두께를 측정하는 장비이다. 보통 10㎛~50㎛ 정도의 반지름을 가지는 다이아몬드 바늘 Stylus가 사용되며, Stylus의 힘은 보통 17.3㎎ 정도로 고정하여 사용하고 있다. 측정하고자 하는 Sample을 직접 Contact하므로, 유기막은 물론 금속 박막의 두께도 쉽게 구할 수 있다. 하지만, 단차의 두께만을 구할 수 있으므로, 여러 측의 두께 각각을 한번에 측정할 수 없으며, 측정하고자 하는 곳에 미리 단차를 만들어 놓아야 하는 불편함이 있다. 2. Determine the thickness of your sample using alpha-step. Attach your measurement data. Sample Thikness : 1678.3Å 3. Discuss the procedure the measurement using alpha-step. ① Si 시료를 alpha-step 의 탐침자리에 놓는다. ② 덮개를 닫고 나서 프로그램을 실행한다. 하고 싶은 말 좀 더 업그레이드하여 자료를 보완하여, 과제물을 꼼꼼하게 정성을 들어 작성했습니다. 위 자료 요약정리 잘되어 있으니 잘 참고하시어 학업에 나날이 발전이 있기를 기원합니다 ^^ 구입자 분의 앞날에 항상 무궁한 발전과 행복과 행운이 깃들기를 홧팅 키워드 단차, 두께, 표면, 박막, 금속, 탐침